能动科技丨ND载板＆类载板线路干膜SUB系列

近年来，随着PCB、面板、半导体等下游产业链逐步向国内转移，电子化学品国内市场增幅明显。但是，我国电子化学品的生产主要还是集中在中低端产品上，高端产品严重依赖进口在需求端快速拉动和电子化学品本地化采购趋势的双重因素影响之下，未来我国电子化学品市场仍将持续增长，在此期间的国产化率也将稳步攀升。

作为电子信息制造业的上游行业，光刻胶、电子气体、湿电子化学品等电子化学品的需求预计将会持续释放，市场空间巨大。但是这些产品的国产化率还非常低，在美国对我国先进半导体等产业出口管制日益收紧的背景下，为保障完整产业链供应链安全，电子化学品实现大规模国产替代势在必行。因此，电子化学品本土供应商的竞争地位将不断增强。此外，随着先进制造工艺技术持续发展，对电子化学品的技术要求将持续提高、定制化需求增长；行业竞争趋向综合服务能力的竞争。

2019年，国务院先后出台三项与PCB光刻胶密切相关的政策文件，为PCB光刻胶发展奠定了重要政策基础；中央网信办发布了关于PCB光刻胶管理的文件，在PCB光刻胶行业发挥了重要影响；针对PCB光刻胶业务形态，明确了互联网资源协作服务业务的概念，相关市场管理政策相继配套出台；工信部于2019年发布《PCB光刻胶发展三年行动计划（2019-2021）》，提出了我国PCB光刻胶发展的指导思想、基本原则、发展目标、重点任务和保障措施。

能动 AQUA MER^®系列

能动 AQUA MER^®涵盖电路板、封装基板和其他行业制造所需的影像转移干膜，包括曝光蚀刻、图形电镀、选择性沉镍金、电金、激光直接成像、厚阻干膜、阻焊干膜。满足加成法和半加成法特定制程所需要的特种干膜，打破美、日等发达国家的技术垄断，进行深入的技术革新，结合了现代最先进感光材料的设计技术和涂布技术开发而成。
       针对日益增长市场需求及及国产替代的需要,能动科技公司组织研发人员开发攻关,在原材料的选用,主体树脂的开发,调配工艺研究等方面做了大量工作,不断改进配方,在客户端试样收集大量数据,经过数年的研究与开发,成功开发出载板&类载板线路干膜SUB100系列、SUB110T系列产品。

干膜光阻剂是广泛应用于载板/类载板制程的水溶性负型光阻干膜，适用于精细线路电镀与内层蚀刻制程，对于精细线路具有高密着性与分辨率。

SUB100系列侧重于酸性直蚀（特别适用于core etch制程）。

                                                                       图 1                                                                   图 2

设计目标：L/S≥30/30um ; 图1与图2  SEM图是SUB106;（膜厚15um）在 LDI-I Line（Nuvogo 800）机台上曝光，对线路图形测定，能量尺41sst=16; L/S=12/12um。

                                                             图 3                                                                         图 4

SUB100T系列主要应用于SAP/MSAP制程；SUB100T系列兼具精细线路图电和酸性蚀刻制程。
       设计目标：L/S≥8/8um.
       图3为SUB110T（膜厚25um）SEM图是在LDI（375nm 100%）机台上曝光，对线路图形测定 41SST-16; L/S=12/12um。
       图4 SEM是在IP-6机台上曝光，对线路图形测定；41sst=16; L/S=8/8um。